პლაზმიდან ქიმიურ ორთქლზე დალექვის (PECVD) პროცესში, ყველა ელექტრული კავშირი, რადიოსიხშირული სიმძლავრის გადაცემიდან დაწყებული, პროცესის გაზის კონტროლით დამთავრებული, პირდაპირ გავლენას ახდენს თხელი ფენის დალექვის ერთგვაროვნებასა და ჩიპის გამოსავლიანობაზე. მინიატურული აღჭურვილობის, მაღალი ვაკუუმის და ძლიერი ელექტრომაგნიტური ჩარევის მკაცრი გარემოს წინაშე დგომისას,ვაგოpicoMAX®-ის კონექტორები, მათი სამი ძირითადი უპირატესობით: „კომპაქტურობა, საიმედოობა და ეფექტურობა“, PECVD სისტემებისთვის იდეალურ შეერთების გადაწყვეტად იქცა.
ინოვაციური კომპაქტური დიზაინი
ზუსტი კამერის განლაგებასთან ადაპტაცია
PECVD აღჭურვილობის შიდა სივრცე შეზღუდულია, რაც მოითხოვს რეაქციის კამერის გარშემო დენის, სიგნალისა და სენსორული ხაზების მკვრივ განლაგებას. picoMAX® იყენებს ერთზამბარიან, ორმაგი მოქმედების დიზაინს, 3.5/5.0/7.5 მმ-იანი მრავალი ქინძისთავის დახრით. შეერთების შემდეგ, ის იკავებს 30%-ით ნაკლებ ადგილს, ვიდრე წინა პროდუქტები, იდეალურად ეგუება კამერის გარშემო გაყვანილობის მოთხოვნებს. მისი ნახვრეტის ტიპის კონექტორი თითქმის მთლიანად ჩაშენებულია ქინძისთავის თავში, რაც ხელს უწყობს გვერდიგვერდ აწყობას პოლუსების დაკარგვის გარეშე, მნიშვნელოვნად აუმჯობესებს მიკროსქემის დაფის გამოყენებას და საშუალებას იძლევა სიგნალისა და დენის ხაზების მოწესრიგებული განლაგების იყოს პროცესის გაზის ნაკადის ველში ჩარევის გარეშე.
ექსტრემალური სამუშაო პირობებისგან ძლიერი დაცვა
PECVD პროცესები მოიცავს მაღალი ვაკუუმის, მაღალი სიხშირის პლაზმური და ვიბრაციული გარემოს, რაც მკაცრ მოთხოვნებს აყენებს კონექტორის საიმედოობაზე. picoMAX®-ს აქვს სტაბილური სტრუქტურა 12 გ-მდე ვიბრაციისადმი წინააღმდეგობით, რაც ხელს უშლის მაღალი სიხშირის ვიბრაციით გამოწვეულ შეერთების შესუსტებას. ის ასევე მოიცავს არასწორად ჩასმის საწინააღმდეგო დიზაინს და დაბლოკვის მოწყობილობას, რაც გამორიცხავს ინსტალაციის შეცდომებს და ხელს უშლის შემთხვევით გათიშვას, რაც უზრუნველყოფს აღჭურვილობის უწყვეტ მუშაობას შეფერხების გარეშე.
ხელსაწყოების გარეშე სწრაფი შეერთება
picoMAX®-ს აქვს ხელსაწყოების გარეშე სწრაფი შეერთების ტექნოლოგია, რომელიც საშუალებას იძლევა „შეაერთო და დააჭირო“ შეერთებები როგორც ერთჯაჭვიანი, ასევე მრავალჯაჭვიანი მავთულებისთვის ცივი დაწნეხვის კონექტორებით. რთული გაყვანილობის შეერთებები სრულდება ერთ ეტაპად, რაც მნიშვნელოვნად აუმჯობესებს აწყობის ეფექტურობას და ამცირებს გამართვის ციკლებს. მოდულური დიზაინი თავსებადია რეფლუორული შედუღების პროცესებთან, რაც აკმაყოფილებს ავტომატიზირებული წარმოების ხარჯების შემცირების საჭიროებებს. ის ასევე მოიცავს PECVD შეერთების ყველა სცენარს: 3.5 მმ პინის დაშორება იტევს 0.2-1.5 მმ² სიგნალის მავთულებს, ხოლო 5.0/7.5 მმ პინის დაშორება მხარს უჭერს 16A ელექტროგადამცემ ხაზებს. ის მხარს უჭერს მავთულიდან დაფაზე და კედელზე გამავალი ინსტალაციის მეთოდებს, თავსებადია მართვის კარადასთან და ღრუს გაყვანილობასთან და შეესაბამება GB/T 5226.1 ელექტროუსაფრთხოების სტანდარტებს, რაც ქმნის პროცესის სტაბილურობის მყარ დაცვას.
ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში, სადაც ნანომეტრის დონის პროცესის სიზუსტე უმთავრესია, საიმედო შეერთებები მაღალი მოსავლიანობის გარანტიაა.ვაგოpicoMAX®-ი, თავისი რევოლუციური პროდუქტის დიზაინის კონცეფციით, კომპაქტურ სივრცეში აღწევს „მცირე ზომის, მაღალი ხარისხის“ მიღწევას, რაც PECVD აღჭურვილობისთვის სტაბილურ, ეფექტურ და ხანგრძლივ შეერთების გადაწყვეტილებებს უზრუნველყოფს. ეს ნახევარგამტარების მწარმოებლებს ეხმარება ზუსტი ტექნოლოგიური შეერთებების გამოწვევების გადალახვაში, თითოეული ჩიპის მიკრომეტრიული დონის სიზუსტის დაცვით.
გამოქვეყნების დრო: 2026 წლის 13 მარტი